T2*S=常數(shù) 厚度的平方乘以轉(zhuǎn)送等于常數(shù). 這是經(jīng)驗(yàn)公式,適于用標(biāo)準(zhǔn)制程,即基本主轉(zhuǎn)速之前沒有高轉(zhuǎn)速干擾. 如果有,需要修正因子,相對復(fù)雜,需要實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)說話. 建議,先根據(jù)公式做幾個實(shí)驗(yàn),驗(yàn)證一下,來調(diào)整你的厚度和標(biāo)準(zhǔn)差. 另外,要強(qiáng)調(diào)的是,調(diào)厚度不僅僅看轉(zhuǎn)速,要看到pump的時間,噴光阻的時間,噴光租的轉(zhuǎn)速,切斷轉(zhuǎn)速等等,很多因素;說起來簡單,其實(shí)是個技術(shù)活!