光刻膠和光伏兩者是完全不同的行業(yè)。
1. 光刻膠
1)光刻膠是一種有機(jī)化合物,被紫外光曝光后在顯影溶液中的溶解度會(huì)發(fā)生變化。
2)光刻膠作用
a.光刻膠是一大類具有光敏化學(xué)作用(或?qū)﹄娮幽芰棵舾?的高分子聚合物材料,是轉(zhuǎn)移紫外曝光或電子束曝照?qǐng)D案的媒介。光刻膠的英文名為resist,又翻譯為抗蝕劑、光阻等。光刻膠的作用就是作為抗刻蝕層保護(hù)襯底表面。光刻膠只是一種形象的說(shuō)法,因?yàn)楣饪棠z從外觀上呈現(xiàn)為膠狀液體。
b.光刻膠通常是以薄膜形式均勻覆蓋于基材表面。當(dāng)紫外光或電子束的照射時(shí),光刻膠材料本身的特性會(huì)發(fā)生改變,經(jīng)過(guò)顯影液顯影后,曝光的負(fù)性光刻膠或未曝光的正性光刻膠將會(huì)留在襯底表面,這樣就將設(shè)計(jì)的微納結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到了光刻膠上,而后續(xù)的刻蝕、沉積等工藝,就可進(jìn)一步將此圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠下面的襯底上,最后再使用除膠劑將光刻膠除去就可以了。
硅片制造中所用的光刻膠以液態(tài)涂在硅片表面,而后被干燥成膠膜。儲(chǔ)存時(shí)間短保質(zhì)期短暫,有效期僅90天,粘附性,抗蝕性,耐熱穩(wěn)定性、抗刻蝕能力,具有比較小的表面張力,使光刻膠具有良好的流動(dòng)性和覆蓋。
2.光伏
1)光伏:是太陽(yáng)能光伏發(fā)電系統(tǒng)的簡(jiǎn)稱,是一種利用太陽(yáng)電池半導(dǎo)體材料的光伏效應(yīng),將太陽(yáng)光輻射能直接轉(zhuǎn)換為電能的一種新型發(fā)電系統(tǒng),有獨(dú)立運(yùn)行和并網(wǎng)運(yùn)行兩種方式。
2)光伏發(fā)電是利用半導(dǎo)體界面的光生伏特效應(yīng)而將光能直接轉(zhuǎn)變?yōu)殡娔艿囊环N技術(shù)。這種技術(shù)的關(guān)鍵元件是太陽(yáng)能電池。太陽(yáng)能電池經(jīng)過(guò)串聯(lián)后進(jìn)行封裝保護(hù)可形成大面積的太陽(yáng)電池組件,再配合上功率控制器等部件就形成了光伏發(fā)電裝置。